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신뢰와 기술로 미래를 연다

Applied Science Corp. started to manufacture evaporation materials and sputtering targets. The objectives of Applied Science Corp. are to provide the highest quality products to the customers and to achieve excellence in sputtering target technology.

Applied Science Corp.

Fine Structure Control

Grain size가 크거나 그 분포가 균일하지 않으면, 증착막의 균일도가 떨어지는데, 이는 증착물질이 덩어리져서 증착되는 particle의 생성이 많아지는 것에 기인한다.

  • Particle의 생성은 target 물질이 불필요하게 덩어리져 떨어지는 것을 의미하므로 particle의 생성이 줄어들면 target의 수명도 연장된다.
  • Fine Grain Structure 광학 현미경 사진

    • Ti sputtering
      Target average grain size: ~8㎛(x1000)

    • Cu sputtering Target
      average grain size: ~14㎛(x500)

    • Al sputtering Target
      average grain size: ~50㎛(x50)